欧姆龙非接触MEMS温度传感器的介绍

云肖肖

　　欧姆龙非接触MEMS温度传感器的介绍

　　广州鼎悦电子科技有限公司从事欧姆龙传感器,欧姆龙开关代理销售为一体的欧姆龙开关代理商，提供各种型号欧姆龙继电器()、欧姆龙传感器，今天主要给大家介绍两款欧姆龙非接触MEMS温度传感器：

　　一款是MEMS流量传感器，已经投入量产。该传感器在医疗器械中，用于浓缩氧装置。

　　另一款是MEMS温度传感器。欧姆龙曾在2010年10月的“CEATEC JAPAN 2010”上宣布，开发出了采用MEMS的非接触温度传感器。在本届MEDTEC上展出的传感器和CEATEC JAPAN 2010上展出的产品基本采用相同构造。

　　此次的传感器由以下部件组成：

　　(1)将远红外线聚光至传感器芯片上的硅透镜;

　　(2)配备多个非接触温度传感器——热电堆元件的MEMS元件;

　　(3)将传感器的输出换算为温度的MCU。传感器包括排列8个热电堆元件的产品以及将该元件以4×4排列的产品。

　　通过安装多个热电堆元件，可利用非接触方式同时测量多个区域的温度。虽然还取决于MCU配备的软件，不过基本能测量5～6m远处的温度。与焦电传感器不同，还可测量静止状态的测量对象。因此，可以一次性检查多人病房中的患者是否全在病房。

　　测量温度范围为0～50℃。噪声等效温度差(NETD)为0.2℃。视角为8度/元件。与该公司以前开发的MEMS温度传感器相比，感度提高了50%。利用MCU换算的温度可经由I2C接口输出到外部。