HFSS如何设置激励

chenmm · 发表于 2011-6-17 15:31

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有个问题想请教一下，上下两个方形极板，上层板电压为100V，下层板为0V，电极接点在上电极板背面中心处，加载频率13.56MHz射频源。

我用HFSS做的，在设置激励的时候选的是上极板背面加电压，但是电场线的方向应该怎么设定啊？

wangxiraul7 · 发表于 2011-6-17 16:35

你是在做PECVD的射频模拟吗？13.56MHz……这个数字很熟悉

forlink · 发表于 2011-6-17 16:39

幸会幸会，这边也看到你的问题了

forlink · 发表于 2011-6-17 16:40

回复 2# wangxiraul7

我主要是做低频方向的
王版主是高频方向的，劳烦回答一下了

wangxiraul7 · 发表于 2011-6-17 16:45

关于电场线的方向的设置，我现在给不出正确的回答，待我晚上回家研究一下，现在在公司不方便搞

chenmm · 发表于 2011-6-17 17:01

是的，在设定激励是我选的电压激励，可是里面要求给出电场线的方向，这个我不知道

wangxiraul7 · 发表于 2011-6-17 22:43

回复 6# chenmm
楼主，我按照你的模型画了一下，然后遇到了你的问题（下面会有简要描述），后来我分析了一下，我感觉应该是你设置激励的方式不对，在这种情况下，上下极板间加的是DC，上面电极的下表面和下面电极的上表面应该近似的看做是理想电场面，也就是Perfect E，因为在这种情况下，电场的方向应该是垂直于这两个面的，所以应该通过边界条件Boundaries将这两个面设置为Perfect E，然后再通过添加激励将上电极的上表面设置为波端口（至于是否上下极板都应该设置相应的波端口还需要你自己考虑一下），这样应该比较符合PECVD的实际情况。

wangxiraul7 · 发表于 2011-6-17 23:00

本帖最后由 wangxiraul7 于 2011-6-17 23:02 编辑

电压激励的设置条件是同时需要添加电场方向，否则就就会提示“length of direction line must be greater than zero”的提示，而电场矢量的起点必须在所选择的面上，终点也需要在所选的面上，如果终点不在面上也会有上述提示，这样电场矢量就在所选的面上，而并非垂直于极板表面，如下图。

所以在此场合下使用电压激励应该不合适，具体的使用条件应该有时间专门看一下。我想这也就是在普通条件下（非理想电场）的情况下电场方向并不能像理想电场一下垂直于表面的原因吧。

至于后面如何继续模拟求解，是想求解两块极板间的距离还是验证电压或者射频的频率，楼主你再自己研究吧，你应该比我更熟悉。

chenmm · 发表于 2011-6-18 12:39

对，就是这个问题，我觉得电场线的方向应该是垂直表面的，但是它只可以在所选平面上，我也想过可能是激励选择错误的问题。还有一个问题想问问版主，我想把电极接点在上电极板背面不同位置时，比较在同频率下的电极板电场图。比如在上电极板背面Y轴方向距边缘10mm，这个应该怎么做啊？

chenmm · 发表于 2011-6-18 17:13

我将上电极的上表面激励条件设置为波端口，但出来的电场图为什么是这样的？
R82@{3B`6I{}861~P{72QSH.jpg

我看一篇文章上他的电场图是这样的
截图.jpg

，是我波端口的激励设置有问题？

wangxiraul7 · 发表于 2011-6-18 17:32

激励可能不能这样设置，如果上电极板有厚度的话，上表面设置成波端口的话可能射频场就仅仅局限在上极板内部了，你图上显示的是上极板内部的电场分布。

chenmm · 发表于 2011-6-18 17:56

本帖最后由 chenmm 于 2011-6-18 18:22 编辑

那我这个要怎么设置呢？极板的厚度很薄，但我不知道啊可以忽略，还有个问题就是点极接入点的位置这个要怎么设置啊？

chenmm · 发表于 2011-6-18 18:47

回复 11# wangxiraul7
我上极板内部的图是这样的，是我的激励条件设错了？

chenmm · 发表于 2011-6-18 18:50

回复 11# wangxiraul7

激励可能不能这样设置，如果上电极板有厚度的话，上表面设置成波端口的话可能射频场就仅仅局限在上极板内部了，你图上显示的是上极板内部的电场分布。

那我这个要怎么设置呢？极板的厚度很薄，但我不知道啊可以忽略，还有个问题就是点极接入点的位置这个要怎么设置啊？

wangxiraul7 · 发表于 2011-6-20 08:51

这个我也在学习，也是力不从心啊，有空得多找找平板电极的激励设置方面的资料看看。

dyxql · 发表于 2011-6-21 13:18

在上下两个极板之间建立垂直一个面，积分限就画在上面，用电压激励

chenmm · 发表于 2011-6-23 09:32

我试了一下，可以了，谢谢啦！

wangxiraul7 · 发表于 2011-6-23 09:52

楼主如何解决的，具体的模拟实现，可以写一篇帖子讲解一下，分享一下，让大家都参与讨论并学习啊。

wangxiraul7 · 发表于 2011-6-23 09:56

回复 17# chenmm
你好，能不能告诉我你看的那篇论文的题目叫什么啊？

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