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[讨论] 光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性

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发表于 2018-1-26 17:56 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国广东深圳

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  微电子机械系统( MEMS)是指采用微机械加工技术、可以批量制作的和集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。MEMS作为在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科,它以微电子及机械加工技术为依托,范围涉及微电子学、机械学、力学、自动控制学、材料科学等多种工程技术和学科。

  日前国内外对MEMS的研究取得了重大的进展,MEMS广泛的用于各种产业领域,如信息工程、分析化学、航天航空、科学仪器、生物医学、汽车、国防等。已开发的MEMS产品包括微型马达、微型压力传感器、微型加速度计、微型机械陀螺仪、微型光学电子机械系统、光开关、生物化学芯片等,在前沿科技、汽车行业、医疗与健康监护、可穿戴与便携式系统、智能手机等军民两用领域都取得了迅速的发展。

  MEMS从设计到封装的各个环节都要贯彻测试的要求。在MEMS研究的整个过程中,存在着大量的测试项目。由于MEMS的尺寸小、质量小、易受环境影响等特点,对测试提出了新的要求。MEMS测试的主要目的是在工程发展中对设计和仿真过程提供反馈,包括装置行为、系统参数和材料特性等。

光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性
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MEMS


  在MEMS测试项目中,表面特性(粗糙度、台阶高)是一个非常重要的项目,目前主要是采用非接触式的光学3D轮廓仪(白光干涉仪)进行测量。过去国内市场上高性能的光学3D轮廓仪均是进口品牌,形成了技术和价格垄断,深圳市中图仪器股份有限公司(以下简称中图仪器)利用自身多年的技术积累,潜心数年,研发出了国产高性能高精度光学3D轮廓仪,在与进口品牌测试对比中,性能和稳定性都达到了同类进口品牌水平。

  中图仪器光学3D表面轮廓仪具有以下显著特点:

—— 3D测量,一览无余 ——

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  采用白光干涉技术,结合具有优异抗噪性能的3D重建算法,真实还原样品的每一个细节,随意翻转缩放,助您轻松观察、测量样品的任意特征。

光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性

—— 功能强大,参数齐全 ——


  粗糙度、平面度、孔洞分析、顶点分析等3D测量功能全部囊括,距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能完全覆盖,更有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数,让您对样品的了解细致入微。
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光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性

—— 操作便捷,简单明了 ——


  直观的操作界面,让您对操作流程一目了然,自动聚焦,助您一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的同步分析功能,更有一键分析功能,批量测量不用愁。
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光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性

光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性

—— 超高重复精度,稳定可靠 ——


  采用了高精度扫描模块和独特的内部抗振设计,可实现最高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,完美诠释始终如一的测量品质。
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光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性


—— 两种型号,量身定制 ——


  W1系列光学3D表面轮廓仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型,另可针对不同的客户需求,在两种型号间选取不同配置进行组合,让仪器完美切合客户需求,贴心更省力。
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光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性

—— 广泛应用,贴心服务 ——


  可测2D/3D轮廓、粗糙度,300余种特征参数……光学3D表面轮廓仪在半导体、超精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用,超光滑硅晶片表面粗糙度、超精密非球面弧面线粗糙度、金字塔型磁头夹角、微透镜阵列曲率半径……一个个来自客户的实际应用案例,让我们对这款产品充满信心,全程跟进的技术支持,为您提供最贴心的服务。

  中图仪器SuperView w1系列光学3D表面轮廓仪,为满足客户的应用需求而生。
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光学3D表面轮廓仪高效检测MEMS表面特性

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中图仪器光学3D表面轮廓仪主要技术指标:
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