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离子风机是通过高压电晕电离或者核电离的方式,使空气电离化并释放出大量的正负离子,与物体表面的电荷进行中和,消除无法移除的静电源上的静电中和某些工序中所产生的电荷辅助洁净室空气系统消除材料表面的积尘。直流、交流、高频交流、脉冲单头、多头、台式、挂式、风嘴、风枪可调风、可加热、智能监控、无风。
离子风机在一些标准和材料中也叫做电离器,是通过电离空气,使之产生大量正负离子,与带电表面电荷进行正负中和的设备。主要有核电离和高压电离两种方式,我们国内基本是使用高压电离的。之所有在这一章单独讨论离子风机的问题,一方面是因为离子风机是处理EPA内静电源主要方式之一,另一方面是因为我们的用户在离子风机是选择和使用中存在比较多的误区。
实际上,除了以下三种情况,离子风机的使用都是不必要的。
第一种情况是,生产工艺中有必须使用的绝缘材料,例如工艺中治具、塑料配件、线缆等,这些绝缘材料在装配过程中可能会出现静电积累,又无法通过接地释放,使用离子风机对这样的工位进行实时的静电中和,是比较常见的防静电方式;
第二种情况,一些生产工序当中,不可避免的会产生静电场,比如剥离胶带、薄膜的过程,或者一些自动化生产的流程,此时,通过接地方式消除静电也存在种种局限,离子风机也会被用在这种场合。
第三种情况,实际上是把离子风机当做另一种洁净无尘的手段,通过离子风机消除材料表面的静电,避免材料的吸尘。这种使用方式在洁净室非常常见,尤其在光电显示领域更是大量的使用离子风机。
比如液晶面板厂,通过普通的气流和纯水无法清除因静电而吸附在玻璃上的颗粒物,在这些地方加入离子风机的使用,将极大的改善清洁效果。
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